PHO-SC-4 光源,属于LDLS激光维持等离子体光源,以高能激光维持氙等离子体发光,输出深紫外‑近红外连续宽谱,对比传统短弧氙灯,具备深紫外亮度高、发光点小、寿命长、光输出稳定性优异的特点,广泛用于光谱仪器、半导体检测、材料表征、科研计量等精密光学场景。
工作原理
系统分为激光驱动单元、等离子体灯室、电源控制模块三部分。
1.初始点火:灯室内电极高压击穿氙气,产生初始等离子体;
2.激光维持:高能泵浦激光聚焦射入灯室,持续加热氙等离子体至约20000K高温;点火完成后电极不再参与工作,无电极烧蚀损耗;
3.高温等离子体辐射出连续宽谱光,通过光学窗口输出;
区别传统氙弧灯:传统氙灯依靠电极电弧放电,电极持续蒸发损耗;PHO‑SC‑4仅电极做启动点火,工作阶段由激光维持等离子体,大幅延长灯泡寿命。
核心技术参数
1.光谱范围:170‑2500 nm
2.输出光总功率:≥8W
3.功率稳定性:±0.2%
4.发光点尺寸:137 μm×363 μm
5.光谱辐射亮度:>75 mW/(mm²·sr·nm)@500 nm
6.使用寿命:10000 h
7.冷却方式:水冷
8.供电:100‑240VAC,50‑60Hz
9.工作环境温度:15‑35℃;储存‑10‑40℃
10.输出形式:自由空间输出
产品主要特点
1.超宽连续光谱:单光源覆盖深紫外到近红外,一台设备可替代多台单色光源,简化光学系统搭建。
2.微米级微小发光点:发光点尺寸远小于传统氙灯,光学耦合效率高,易实现平行光、会聚光输出,适合光谱仪、椭偏仪、膜厚测量系统。
3.超长使用寿命:10000小时灯泡寿命,电极不参与持续工作,无电极烧蚀;相比传统氙灯(几百‑2000小时),降低更换维护成本。
4.高输出稳定性:光功率长期稳定性±0.2%,保证光谱测试、膜厚测量结果重复性,适合计量、检测仪器。
5.模块化分体结构:光源头与驱动电源分离,光源头体积小巧,便于集成到设备内部;自带状态监测,实时监控光功率、灯体温度。
光源应用领域
1.半导体与精密检测:晶圆缺陷检测、薄膜厚度测量、椭偏光谱测量、光学计量;
2.科研光谱分析:紫外‑可见‑近红外光谱仪、圆二色光谱、吸收光谱、荧光光谱、材料光学表征;
3.材料科学:光伏材料、化合物半导体、薄膜材料光学性能测试;
4.生物医学:OCT光学相干断层成像、光动力、病理荧光成像;
5.遥感与光学仪器:光谱遥感、光谱校准、光学系统标定。
光源选型与使用注意事项
1.光源为水冷散热,必须配套循环水冷机,禁止无水开机;
2.深紫外波段光学窗口会随使用老化,定期检查光学窗口;
3.设备需要稳定供电,建议配UPS,避免电压波动造成光源异常;
4.光源头为精密光学器件,避免震动、撞击;
5.如需光纤输出,需要选配专用光纤耦合模块;
6.适合集成到光谱仪、椭偏仪、膜厚测试仪;不适合大功率照明场景。
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